影响洁净棚的气流因素很多,洁净棚,如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,生产洁净棚,亦应列入考虑因素。一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,直销洁净棚,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。
洁净棚洁净度之物料净
进入洁净室的物料一般来讲应在运入洁净室之前进行清洗和必要的净化处理,以减少物料在洁净室内的发尘量。
进入洁净室的小件物品一般由洁净室与外走廊或洁净室也洁净室之间(洁净度级别不同的相邻房间)通过传递窗进入。传递窗一般有箱式型、回转式等。